Sottostrati di vetro ottico con rivestimento antiriflesso per sistemi di ispezione

Sottostrati di vetro ottico con rivestimento antiriflesso per sistemi di ispezione

Materiale:

• Substrato di base: vetro borosilicato ad alta precisione (ad esempio, Borofloat 33) o silice fuso, selezionato per una piattezza eccezionale, stabilità termica e resistenza chimica.

• Tecnologia di rivestimento: rivestimenti dielettrici a più strati (ad esempio MgF2, SiO2, Ta2O5) applicati mediante sputtering magnetronico di precisione o deposizione a vapore.

• Tipo di progettazione: personalizzabile come AR a banda larga (spettro visibile NIR) o rivestimento in V (ottimizzazione a lunghezza d'onda singola).

Proprietà chiave:

1. Riflettività ultra-bassa: raggiunge <0,5% di riflettività superficiale (rispetto al 4-8% per il vetro non rivestito), massimizzando la portata luminosa.

2. Alta efficienza di trasmissione: fornisce una trasmissione della luce >99,5% nelle lunghezze d'onda bersaglio, riducendo al minimo la perdita di segnale.

3. Stabilità angolare: mantiene le prestazioni su angoli di incidenza da 0 a 45° critici per l'imaging obliquo.

4. Durabilità ambientale: resiste alla delaminazione, all'umidità e alla degradazione UV in funzione continua.

5. Qualità superficiale: la rugosità sotto-Ångstrom (<5Å Ra) impedisce la diffusione della luce.

6. Resilienza termica e chimica: resiste ai solventi di pulizia e al ciclo termico (-60°C a +300°C).

Funzione primaria:

• Per eliminare i riflessi e massimizzare il contrasto nei sistemi di ispezione ottica ad alta precisione.

• Minimizza le immagini fantasma e i lampi causati dai riflessi superficiali.

• Migliora il rapporto segnale-rumore per un accurato rilevamento dei difetti.

• Conserva l'intensità della luce attraverso percorsi ottici complessi.

Principali applicazioni nei sistemi di ispezione:

1. Metrologia dei semiconduttori:

   • Scanner per difetti di wafer

   • L'ottica per l'ispezione della litografia EUV

   • Sistemi di allineamento delle maschere

2. Controllo ottico automatizzato (AOI):

   • Verifica dell'assemblaggio dei PCB

   • Determinazione dei difetti del pannello di visualizzazione (OLED/LCD)

3. Imaging biomedico:

   • Obiettivi del microscopio per la patologia

   • Lenti per la citometria di flusso

4. Sistemi di visione industriale:

   • Sensori di triangolazione laser

   • Lenti a visione artificiale per linee di montaggio

5. DNT aerospaziale:

   • Finestre di sonda ad ultrasuoni

   • Optica endoscopica per l'ispezione delle turbine

6. Test di fotonica:

   • Dischi di interferometro ottico

   • Finestre di spettrometro

In sostanza:Sottostrati di vetro ottico con rivestimento antiriflessosono componenti di progettazione di precisione che risolvono problemi di precisione indotti dalla riflessione nei sistemi di ispezione critici.Applicando rivestimenti dielettrici avanzati a più strati su substrati di borosilicato ultrapiatto o di silice fuso, raggiungono prestazioni di superficie quasi invisibili (riflettività < 0,5%), consentendo il rilevamento dei difetti a scala micron/submicron.Questi substrati migliorano direttamente l'affidabilità della metrologia dei semiconduttori, attrezzature AOI, e strumenti di imaging biomedici dove ogni fotone conta.